特許
J-GLOBAL ID：200903031799835299
物体表面の検査方法及び検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安田 敏雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-254864
公開番号（公開出願番号）：特開平6-109622
出願日： 1992年09月24日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：
【要約】【構成】 検査面上に鏡面により覆われる空間を形成し、該空間内に光を照射して、該光を前記検査面と前記鏡面間で多重反射させ、該多重反射した光を前記空間内から取り出し、該取出し光に基づいて検査面の性状を検査すること特徴とする物体表面の検査方法;並びに当該方法を実施する検査装置。【効果】 従来のレーザ方式では検出できなかった油汚れの有無、単に赤外線等の広波長域の光を照射しただけでは検出できないような微量な汚れ等を検出できる。
請求項（抜粋）：
検査面上に鏡面により覆われる空間を形成し、該空間内に光を照射して、該光を前記検査面と前記鏡面間で多重反射させ、該多重反射した光を前記空間内から取り出し、該取出し光に基づいて検査面の性状を検査すること特徴とする物体表面の検査方法。
IPC (3件)：
G01N 21/00
, G01B 11/30
, G01N 21/89
