特許

J-GLOBAL ID：200903031802743627

水素化物ガス含有ガス中の酸素分析方法および装置

発明者： 北原 宏一 ,  島田 孝 ,  岩田 恵一 ,  安田 雅子
出願人/特許権者： 日本パイオニクス株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-316282
公開番号（公開出願番号）：特開平5-149842
出願日： 1991年11月29日
公開日（公表日）： 1993年06月15日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】水素化物ガスを含有する窒素、アルゴン、水素などのガス中に含まれる酸素を0.01ppmレベルのような高精度で測定する。【構成】水素化物ガスを含有するガスを水素化物ガスに対して吸着能を有する吸着剤7と接触させた後、黄りん発光式、ガルバニックセル式などの高感度酸素分析計12に導いて酸素濃度を測定する。

請求項（抜粋）：

水素化物ガスを含有するガス中に含まれる酸素の分析方法において、試料ガスを水素化物ガスに対して吸着能力を有する吸着剤と接触させた後酸素分析計に導くことを特徴とする水素化物ガス含有ガス中の酸素分析方法。

IPC (6件)：

G01N 1/22 ,  G01N 21/64 ,  G01N 21/76 ,  G01N 27/28 ,  G01N 27/404 ,  G01N 31/00

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭61-172045