特許

J-GLOBAL ID：200903031803903075

透過型電子顕微鏡

発明者： 那須 修 ,  田中 弘之
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-293028
公開番号（公開出願番号）：特開平9-134694
出願日： 1995年11月10日
公開日（公表日）： 1997年05月20日
要約：

【要約】【課題】 観察倍率を変えたときに、照射電流を変化させずに像の明るさを調節できるようにする。【解決手段】 撮像手段12による像を観察倍率に応じて加算することで、試料照射電流を変化させることなく所望の明るさの像を得る。加算は、撮像手段の電荷蓄積時間の延長あるいは画像の加算によって行う。像の加算を撮像手段の電荷蓄積時間調整によって行う場合には、観察倍率M1 の時の露光時間T1 を基準倍率M0 の時の露光時間T0 に対して、T1=(M1/M0)2・T0 のように変更する。像の加算を画像の枚数加算によって行う場合には、加算枚数nを、n=(M1/M0)2 に設定する。

請求項（抜粋）：

電子線を試料に照射するための手段と、試料を透過した電子線による像を拡大して結像する手段と、前記拡大された電子線像を光学像に変換する手段と、前記光学像を撮像する撮像手段と、画像表示手段とを具備する透過型電子顕微鏡において、前記撮像手段による像を倍率に応じて加算する手段を設けたことを特徴とする透過型電子顕微鏡。