薄膜強度評価装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木晴敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-295456
公開番号（公開出願番号）：特開平9-138186
出願日： 1995年11月14日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：

【要約】【課題】薄膜に残留内部応力が存在している場合においてもその破壊強度を正確に測定,評価し得る薄膜強度評価装置を提供する。【解決手段】基材2上に薄膜1を形成した複合材料3の試験片を引張り試験機4により引張り,応力および歪みを求めると共に顕微像観察手段5により薄膜1上に発生するクラック数,クラック幅等の観察データを求め、更に計測手段6により残留内部応力を求め、これ等の各データを演算手段7に入力し、予めプログラムされている演算方式によって残留内部応力の影響を補正して薄膜1の真の臨界応力を求める。

請求項（抜粋）：

基材に薄膜を形成した複合材料を対象とし、残留内部応力を含む前記複合材料の試験片に引張り応力を加えて歪み測定する引張り試験機と、引張り応力が加わった状態で前記薄膜に生じる亀裂を観測して画像化する顕微像観察手段と、前記試験片に含まれる残留内部応力を測定する計測手段と、前記引張り試験機から得られる引張り応力および歪みの測定データ,前記顕微像観察手段から得られる亀裂の形状データおよび前記計測手段から得られる残留内部応力の計測データを総合的に処理して前記薄膜の強度を算出する演算手段とを設けることを特徴とする薄膜強度評価装置。

IPC (3件)：

G01N 3/06 , G01N 3/00 , G01N 3/08

FI (3件)：

G01N 3/06 , G01N 3/00 P , G01N 3/08

引用特許：

出願人引用 (6件)

薄膜機械特性の測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-134974 出願人：日本電気株式会社
特開昭51-042581
特開平4-001551

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