特許

J-GLOBAL ID：200903031807840566

金属-絶縁体-金属型電子放出素子およびそれを用いた電子線放出装置等の応用機器の駆動方法

発明者： 楠 敏明 ,  鈴木 睦三 ,  佐々木 進 ,  矢口 富雄 ,  黒田 勝広 ,  品田 博之 ,  大嶋 卓 ,  大島 徹也 ,  林 伸明
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-237817
公開番号（公開出願番号）：特開平7-094103
出願日： 1993年09月24日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：

【要約】【目的】 MIM型電子放出素子及びそれを備えた電子線放出装置等の応用機器において、低ノイズで面分布の均一な電子線を繰返し利用することを可能にする。【構成】 MIM型電子放出素子の駆動を終了する際、駆動電圧を、フォーミング状態が発現しない速さで遮断する。

請求項（抜粋）：

金属-絶縁体-金属型電子放出素子の駆動を終了する際、上記2つの金属間に印加されている駆動電圧を、フォーミング状態が発現しない速さで遮断することを特徴とする金属-絶縁体-金属型電子放出素子の駆動方法。