特許

J-GLOBAL ID：200903031807841228

信号処理方法および位置検出光学系の調整方法およびターゲットパターンならびに露光方法および露光装置

発明者： 小森谷 進 ,  町田 貴裕 ,  国吉 伸治 ,  入来 信行 ,  前島 央 ,  小林 正道
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-200480
公開番号（公開出願番号）：特開平8-064500
出願日： 1994年08月25日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【目的】 コントラストおよび対称性の良い位置検出信号を得ることが可能なターゲットパターンを提供する。【構成】 検査光の波長λ、開口数NA、パーシャル・コヒーレンシσの位置検出光学系で検出されるターゲットパターン1を、凸状の幅W1(<0.5λ(1+σ)/NA)のドット部またはライン部1aと、その周囲に配置されたピッチP(<λ(1+σ)/NA)、凸部の幅W2(<0.5λ(1+σ)/NA)の繰り返し段差部1bとで構成する。また、ターゲットパターン2を、凹状の幅W1(<0.5λ(1+σ)/NA)のドット部またはライン部2aと、その周囲に配置されたピッチP(<λ(1+σ)/NA)、凸部の幅W2(<0.5λ(1+σ)/NA)の繰り返し段差部2bとで構成する。

請求項（抜粋）：

画素の位置(i)に対応したターゲットパターンの画像信号G(i)を取り込み、画像演算処理を行い、位置合わせを行う位置検出光学系における信号処理方法であって、任意の検出基準点(j)に対して、正規化した対称性の不一致度S(j)を、次式(1)で計算し、前記対称性の不一致度S(j)が最小となる位置を求めて前記ターゲットパターンの中心位置とし、前記対称性の不一致度S(j)の最小値を前記画像信号の非対称性として定量評価することを特徴とする信号処理方法。【数1】ここにkは、対称性演算の積分範囲であり、積分範囲は、k1からk2であり、GB (j)は、積分範囲k1からk2におけるG(j+k)の平均値であり、mは、任意の整数である。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00

FI (3件)：

H01L 21/30 502 V ,  H01L 21/30 502 M ,  H01L 21/30 516 B