特許
J-GLOBAL ID:200903031808547536
研磨物の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-216056
公開番号(公開出願番号):特開2001-038583
出願日: 1999年07月30日
公開日(公表日): 2001年02月13日
要約:
【要約】【課題】 研磨に時間がかからず、研磨目が生じず、研磨材の回収に手間がかからない研磨物の製造方法を提供する。【解決手段】 磁性を有する多数の研磨材1を磁力によって研磨材保持具2に保持させる工程と、被研磨体5の一部または全体を研磨材1と接するように配置する工程と、被研磨体5または研磨材1の少なくとも一方を振動させる工程とを経ることによって、被研磨体5表面を研磨する。
請求項(抜粋):
磁性を有する多数の研磨材を磁力によって研磨材保持具に保持させる工程と、被研磨体の一部または全体を研磨材と接するように配置する工程と、被研磨体または研磨材の少なくとも一方を振動させる工程とを経ることによって、被研磨体表面が研磨された研磨物を得ることを特徴とする研磨物の製造方法。
Fターム (9件):
3C049AA02
, 3C049AA16
, 3C049AA18
, 3C049BC02
, 3C049CA05
, 3C049CA06
, 3C049CA07
, 3C049CB01
, 3C049CB03
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