特許
J-GLOBAL ID：200903031810772466
レーザ超音波欠陥検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
紋田 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-151925
公開番号（公開出願番号）：特開平9-318603
出願日： 1996年05月24日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：
【要約】【課題】 厚みの異なる被検査物1であっても超音波4により形成された凹凸Pが検出できるようにする。【解決手段】 超音波トランスジューサ3により超音波を被検査物1に照射して該被検査物1の表面に当該被検査物1の内部構造の情報を含む凹凸Pを形成する。そしてレーザ源5から出射されたレーザ光6aを凹凸Pに照射する。この際、被検査物1の厚みに依存して形成される凹凸Pの位置が変化するので、2軸ガルバノミラー17によりレーザ光6aの照射位置を調整する。その後、当該凹凸Pにより回折等された反射光6bが光検出器9で受光されるように、モータ41によりミラー40の位置又は反射角を調整する。これにより厚みの異なる被検査物1であっても当該被検査物1の内部に存在する欠陥等を容易に検出することが可能になる。
請求項（抜粋）：
超音波を被検査物に照射して、当該被検査物の内部構造の情報を反映した凹凸を該被検査物の表面に形成させる超音波照射手段と、被検査物にレーザ源から出射されたレーザ光を照射するレーザ照射手段と、被検査物の表面で反射したレーザ光を受光して電気信号に変換する反射光受光手段と、該反射光受光手段からの信号に基づき、被検査物の内部構造の情報を表示する信号処理手段とを有するレーザ超音波欠陥検出装置において、前記レーザ照射手段が、前記凹凸が形成された被検査物の表面領域にレーザ光を照射させるべく、前記レーザ源から出射されたレーザ光の光路を変更する入射光路変更手段を有し、前記反射光受光手段が、前記被検査物の表面で反射されたレーザ光を前記反射光受光手段に受光させるべく、当該レーザ光の光路を変更する反射光路変更手段を有することを特徴とするレーザ超音波欠陥検出装置。
IPC (4件)：
G01N 29/00 501
, G01B 11/30
, G01B 17/00
, G01B 21/30
G01N 29/00 501
, G01B 11/30 Z
, G01B 17/00 Z
, G01B 21/30 Z
