特許

J-GLOBAL ID：200903031818430351

表面検査装置

発明者： 長谷川 昇
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (3件)： 田村 弘明 ,  矢葺 知之 ,  津波古 繁夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-021016
公開番号（公開出願番号）：特開2005-214758
出願日： 2004年01月29日
公開日（公表日）： 2005年08月11日
要約：

【課題】 従来の光学式表面検査装置では検出或いは形状の識別が不可能であった、粗面中のなだらかな輪郭を持つ数十μm程度及びそれ以下の凹凸形状を検出、識別すること。【解決手段】 金属を検査するための表面検査装置において、波長10μm〜1mmのマイクロ波或いは、その一部の波長のマイクロ波を発生するマイクロ波発生器と、該マイクロ波を被測定対象面に導く第1の光学系と、被測定対象面からの反射波を検出するマイクロ波検出器と、前記反射波を前記マイクロ波検出器に導く第2の光学系と、被測定対象の移動機構と、測定位置ごとの検出信号を処理して信号強度分布を求め、求めた信号強度分布から前記金属の表面形状を決定する信号処理器とを兼ね備えた表面検査装置であって、前記マイクロ波検出器は、前記第2の光学系の後焦点位置と空間的に異なる位置に設置され、かつ、マイクロ波を空間的に選別して検出する機構を兼ね備えたことを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

金属を検査するための表面検査装置において、波長10μm〜1mmのマイクロ波或いは、その一部の波長のマイクロ波を発生するマイクロ波発生器と、該マイクロ波を被測定対象面に導く第1の光学系と、被測定対象面からの反射波を検出するマイクロ波検出器と、前記反射波を前記マイクロ波検出器に導く第2の光学系と、被測定対象の移動機構と、測定位置ごとの検出信号を処理して信号強度分布を求め、求めた信号強度分布から前記金属の表面形状を決定する信号処理器とを兼ね備えた表面検査装置であって、前記マイクロ波検出器は、前記第2の光学系の後焦点位置と空間的に異なる位置に設置され、かつ、マイクロ波を空間的に選別して検出する機構を兼ね備えたことを特徴とする表面検査装置。

IPC (2件)：

G01N22/02 ,  G01N22/00

FI (4件)：

G01N22/02 A ,  G01N22/00 P ,  G01N22/00 S ,  G01N22/00 U

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特許第3063523号公報
  
• 鋼板の表面欠陥検出方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-093426   出願人：新日本製鐵株式会社