特許

J-GLOBAL ID：200903031818898345

熱変形の自己補償機構付き反射ミラー

発明者： 白石 雅之
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-286763
公開番号（公開出願番号）：特開2002-100551
出願日： 2000年09月21日
公開日（公表日）： 2002年04月05日
要約：

【要約】【課題】 基板の不均一な熱変形を抑え、露光に必要な光学特性を維持できる反射ミラーを提供することを目的とする。【解決手段】 光源からの光の照射によって発生する反射ミラーの熱変形に対し、光電素子を用いて照射光を、熱電素子を用いて照射光による熱を、焦電素子を用いて基板温度変化を、各々電圧に変換し、この電圧で圧電素子を駆動して、反射ミラーの熱変形と逆方向へひずませて相殺する自己補償機構を基板自体に多数組み込んで、反射ミラーが自ら熱変形を補償するようにした。

請求項（抜粋）：

反射ミラーに光源からの光を照射した際の熱によって生じる前記反射ミラーの熱変形に対して、前記反射ミラー内に前記熱変形を打ち消す、逆の変形を生じさせる自己補償機構を具備したことを特徴とする反射ミラー。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G02B 5/10 ,  G03F 7/20 503 ,  G21K 1/06 ,  G21K 5/02

FI (5件)：

G02B 5/10 Z ,  G03F 7/20 503 ,  G21K 1/06 P ,  G21K 5/02 X ,  H01L 21/30 531 A

Fターム (10件)：

2H042DB00 ,  2H042DB06 ,  2H042DD13 ,  2H042DE00 ,  2H097BA10 ,  2H097CA15 ,  2H097EA01 ,  2H097GB00 ,  5F046GA07 ,  5F046GB01