特許
J-GLOBAL ID：200903031818975927
カラーフィルターレジスト用現像液
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-183897
公開番号（公開出願番号）：特開平9-034128
出願日： 1995年07月20日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：
【要約】【課題】 露光量や現像条件の許容範囲が広く、条件設定が容易で、現像時の発泡による問題もない現像液を提供する。【解決手段】 無機のアルカリ剤とポリオキシアルキレンエーテル基を有するノニオン性界面活性剤とを含有するカラーフィルターレジスト用現像液。【効果】 無機のアルカリ剤と、ポリオキシアルキレンエーテル基を有するノニオン性界面活性剤とを組合せることにより、露光量や現像条件の自由度が高められ、また、現像時の発泡を抑制することができる。
請求項（抜粋）：
無機のアルカリ剤とポリオキシアルキレンエーテル基を有するノニオン性界面活性剤とを含有することを特徴とするカラーフィルターレジスト用現像液。
IPC (3件)：
G03F 7/32
, G02B 5/20 101
, G03F 7/027 515
G03F 7/32
, G02B 5/20 101
, G03F 7/027 515
