基板ホルダー

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：光石俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-294893
公開番号（公開出願番号）：特開平10-144773
出願日： 1996年11月07日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：

【要約】【課題】基板上への成膜効率が向上し、ゴミ付着による基板の欠陥を低減することができる薄膜形成用の基板ホルダーを提供すること。【解決手段】薄膜を成長させる基板を埋設・保持する基板ホルダーにおいて、基板ホルダー11の基板3に接触しない側の面のうち、基板3に対応する部分とそれ以外の部分とでヒーター4に対する接触面積比率を異なるようにすべく凹部13を形成し、基板ホルダー11の表面15の温度を基板3の表面の温度と同じか、若しくはそれ以下とするようにしたものである。

請求項（抜粋）：

薄膜を成長させる基板を埋設・保持する薄膜形成用等の基板ホルダーにおいて、この基板ホルダーの基板に接する面と反対側の面であって、ヒーターと接触する側の面に凹部を設けてヒーターとの接触面積を減少させたことを特徴とする基板ホルダー。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , C23C 16/44 , H01L 21/205

FI (3件)：

H01L 21/68 N , C23C 16/44 H , H01L 21/205

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