特許

J-GLOBAL ID：200903031825227944

高低温プローバおよびウエハ測定方法

発明者： 田辺 昭人
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 加藤 朝道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-322371
公開番号（公開出願番号）：特開平11-145218
出願日： 1997年11月07日
公開日（公表日）： 1999年05月28日
要約：

【要約】【課題】測定中に自己発熱を起こす製品に対して、温度精度が高く、スループットの高い高低温プローバ及びウエハ測定方法の提供。【解決手段】加熱冷却機能を有するウエハステージ内の上下に複数の温度センサを設けるとともに測定チップの温度をダイレクトに検出する手段を設け、測定チップに対してのみ上方から加熱冷却する機能を設ける。ウエハステージは一定温度で制御し、上方からの加熱冷却量及び温度を制御しながら測定を行う。

請求項（抜粋）：

加熱冷却機能を有するウエハステージ内の上部と下部に、複数の温度センサを備えるとともに、測定チップの温度を直接的に検出する手段を備え、さらに前記測定チップに対してのみ上方より加熱冷却する手段を備えたことを特徴とする高低温プローバ。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  G01R 31/26

FI (4件)：

H01L 21/66 B ,  H01L 21/66 H ,  G01R 31/26 H ,  G01R 31/26 J