圧力測定又は質量分析用イオン化室

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小倉亘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-302684
公開番号（公開出願番号）：特開平7-153419
出願日： 1993年12月02日
公開日（公表日）： 1995年06月16日
要約：

【要約】【目的】イオン化室の汚れを防ぎ、超高真空雰囲気下で高精度の圧力測定又は質量分析を可能にする。【構成】イオン化室2を気体分子の吸着に関して不活性な貴金属材料で作製すると共に、電子源6として蒸発物を発生しない冷陰極を使用する。熱陰極を使用する場合には、電子軌道3に沿って遮蔽板を設け、反射板を経て電子のみをイオン化室2に導入する。【効果】 ESDイオンがコレクタ5に取り込まれることがないので、超高真空雰囲気の圧力や質量が高精度で測定される。

請求項（抜粋）：

蒸発物を発生することがない冷陰極と、該冷陰極から放射された電子が導入されるイオン化室と、該イオン化室で電離されたイオンを集めるコレクタとを備え、前記イオン化室は、気体分子の吸着に関して不活性な貴金属材料で作製されている圧力測定又は質量分析用イオン化室。

IPC (6件)：

H01J 49/10 , G01L 21/30 , H01J 27/20 , H01J 37/08 , H01J 41/04 , H01J 41/06

引用特許：

審査官引用 (3件)

特公昭46-013315
特開平4-006431
特公昭48-021315

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