特許
J-GLOBAL ID：200903031852199880
電子ビーム露光装置及び方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-153776
公開番号（公開出願番号）：特開平7-142330
出願日： 1993年06月24日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：
【要約】【目的】 ブロック露光やBAA露光を行なう電子ビーム露光装置において、露光の抜けや掠れが生じた場合にこれを検出できる電子ビーム露光装置を提供することを目的とする。【構成】 電子ビームの総照射量を、ビーム遮断時にビーム整形マスクおよびビーム遮断板で捕捉される電子ビームの量から求め、露光時においてビーム整形マスクおよびビーム遮断板で捕捉される電子ビームの量をビーム遮断時の総照射量と比較し、その結果にもとづいて実際に基板上に露光された有効なショットの数を求め、露光クロックの数と比較することにより、露光が完全に行なわれたか否かを判定する。
請求項（抜粋）：
電子ビームを形成し、これを所定の光軸に沿って被露光物体に向かって照射する電子ビーム源と;前記電子ビームを前記被露光物体上に集束する集束手段と、前記電子ビームを前記光軸に対して偏向して、前記被露光物体上において前記電子ビームを走査させる偏向手段と;前記光軸上において前記電子ビーム源と前記被露光物体との間に設けられ、複数の開口部を形成され、前記複数の開口部において前記電子ビームを整形して、前記被露光物体上に描画される露光パターンに対応した整形電子ビームを形成する電子ビーム整形マスクと;前記光軸上に前記電子ビーム整形マスクと前記被露光物体との間に設けられ、前記光軸に対して整列した電子ビーム通路を形成され、前記光軸を外れた電子ビームの通過を阻止するブランキングプレートと;前記光軸に沿って前記ブランキングプレートと前記電子ビーム源との間に設けられ、駆動パルス信号を供給されこれに応じて前記電子ビームを前記光軸からずらす静電偏向器とを備えた電子ビーム露光装置において、前記電子ビーム整形マスクにおける電子ビームの捕捉の結果前記電子ビーム整形マスクに生じる第1の電流と、前記ブランキングプレートにおける電子ビームの捕捉の結果前記ブランキングプレートにおいて生じる第2の電流とを供給され、前記第1の電流と第2の電流の総和をあらわす第3の電流を形成する電流加算手段と;前記電流加算手段から出力される前記第3の電流に基づいて、前記被露光物体上における各々の露光に対応した第1のパルス信号を形成する総電流検出手段と;前記総電流検出手段から前記第1のパルス信号を供給されてこれを計数し、その計数結果をあらわす第1の計数値を出力する第1の計数手段と;前記駆動信号に対応した第2のパルス信号を供給されてこれを計数し、その計数結果をあらわす第2の計数値を出力する第2の計数手段と;前記第1の計数値と前記第2の計数値とを供給され、前記第1の計数値と第2の計数値を比較し、前記比較の結果に基づいて露光が不良であることを示すアラームを発生させる比較手段とを備えたことを特徴とする電子ビーム露光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 504
, G03F 7/20 521
