特許
J-GLOBAL ID：200903031858378042
ローダ・アンローダ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-072559
公開番号（公開出願番号）：特開平11-268829
出願日： 1998年03月20日
公開日（公表日）： 1999年10月05日
要約：
【要約】【課題】本発明は、撓んだ大型基板でも確実にロード・アンロードする。【解決手段】平板状の3つのアーム14-1,14-2,14-3を収納カセット1に収納されているときのガラス基板2の撓み形状に対応した形状に配置し、かつこれらアーム14-1,14-2,14-3を水平状態に配置するアーム駆動機構12を備えた。
請求項（抜粋）：
収納カセット内に所定ピッチで複数収納された可橈性ワークをロード・アンロードするローダ・アンローダであって、複数に分割されたアームと、これらアームを前記可橈性ワークの撓み形状に対応した傾斜角度に調整する機能を有するアーム駆動機構と、を具備したことを特徴とするローダ・アンローダ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B65G 49/07 E
, H01L 21/68 A
