特許
J-GLOBAL ID：200903031864152617
液晶ディスプレイ用Al系ターゲット材およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大場 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-040106
公開番号（公開出願番号）：特開平9-235666
出願日： 1996年02月27日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：
【要約】【課題】 スプラッシュの発生を低減した液晶ディスプレイ用Al系ターゲット材およびその製法を提供する【解決手段】 ターゲット材の硬さがビッカース硬さ(Hv)で25以下であり、0.3m2以上のスパッタ面を有する液晶ディスプレイ(LCD)用Al系スパッタリングターゲット材である。ターゲット組織内における1μm以上の欠陥は、1cm2当たり5ケ以下であることが望ましい。このターゲット材はAlを主体とするインゴットを300から450°Cの温度範囲で75%以下の加工率で圧延により板状にし、次いで圧延時温度以上で550°C以下の加熱処理を行い、圧延面側をスパッタリング面とすることにより得られる。
請求項（抜粋）：
ターゲット材の硬さがビッカース硬さ(Hv)で25以下であり、0.3m2以上のスパッタ面を有することを特徴とする液晶ディスプレイ用Al系スパッタリングターゲット材。
IPC (5件)：
C23C 14/34
, C22C 21/00
, C22F 1/04
, G02F 1/1343
, H01L 21/285
C23C 14/34 A
, C22C 21/00 Z
, C22F 1/04 A
, G02F 1/1343
, H01L 21/285 S
