特許
J-GLOBAL ID:200903031875177425

アクチュエータ及びその駆動方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小谷 悦司 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-185197
公開番号(公開出願番号):特開2001-016878
出願日: 1999年06月30日
公開日(公表日): 2001年01月19日
要約:
【要約】【課題】 互いに直交する2つの圧電素子の交点に設けられたチップ部材が楕円軌跡を描くように駆動することにより、ロータ等の被駆動部材を駆動するアクチュエータにおいて、2つの圧電素子の共振特性のばらつきを補正して、チップ部材が所望する形状の軌跡を描くように駆動する。【解決手段】 第1圧電素子の共振周波数faと第2圧電素子の反共振周波数fb’の中央値である周波数fi、又は第1圧電素子の共振周波数faと第2圧電素子の共振周波数fbの付近で、第1圧電素子と第2圧電素子の変位量が等しくなる周波数feのいずれかで第1圧電素子及び第2圧電素子を駆動する。
請求項(抜粋):
少なくとも第1変位素子及び第2変位素子と、第1変位素子及び第2変位素子の先端部にそれぞれ結合され、各変位素子の変位を合成するための変位合成部と、変位合成部が楕円運動を行うように各変位素子を駆動する駆動部とを含み、第1変位素子の共振周波数と反共振周波数との間であって、第1変位素子に供給される駆動信号の電圧と第1変位素子に流れる電流の位相差がほぼ一定の領域を第1周波数領域とし、第2変位素子の共振周波数と反共振周波数との間であって、第2変位素子に供給される駆動信号の電圧と第2変位素子に流れる電流の位相差がほぼ一定の領域を第2周波数領域として、前記駆動部は、第1周波数領域と第2周波数領域とが重複する領域に含まれる一つの周波数の駆動信号で第1変位素子及び第2変位素子を駆動することを特徴とするアクチュエータ。
Fターム (17件):
5H680AA06 ,  5H680AA10 ,  5H680AA19 ,  5H680BB03 ,  5H680CC02 ,  5H680CC10 ,  5H680DD02 ,  5H680DD15 ,  5H680DD37 ,  5H680DD73 ,  5H680DD84 ,  5H680FF25 ,  5H680FF27 ,  5H680FF30 ,  5H680FF33 ,  5H680FF36 ,  5H680GG21

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