特許
J-GLOBAL ID:200903031884967072
感光性樹脂組成物
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
船越 康弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-295184
公開番号(公開出願番号):特開平6-095369
出願日: 1991年10月14日
公開日(公表日): 1994年04月08日
要約:
【要約】【目的】 アルカリ性水溶液による現像性を有し、かつ、感度、解像度、耐無電解めっき液性に優れた感光性樹脂組成物を得ること。【構成】 アルカリ水溶液に可溶または膨潤するフィルム形成可能なバインダーポリマー、活性エネルギー線の照射により強酸を発生する化合物、ブロックドイソシアネートからなる感光性樹脂組成物。
請求項(抜粋):
A.アルカリ水溶液に可溶または膨潤するフィルム形成可能なバインダーポリマー、B.下記一般式化1で表される置換基を少なくとも2個有する化合物【化1】(ただし、Rはアルコキシ基、アリールオキシ基、アルキルアリールオキシ基、アルキルアミノオキシ基、アミノ基、カプロラクタム残基、または、β-ジカルボニルメチル基を表す。)、および、C.活性エネルギー線の照射により強酸を発生する化合物からなる感光性樹脂組成物。
IPC (6件):
G03F 7/004 503
, G03F 7/022
, G03F 7/027 513
, G03F 7/029
, G03F 7/033
, H05K 3/00
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特開平2-108053
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特開昭58-152236
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特開平4-214564
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