特許

J-GLOBAL ID：200903031888557596

レンズの干渉計測法

発明者： 劉 志強 ,  市原 裕 ,  玄間 隆志 ,  牛田 一雄 ,  石井 幹彦
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 猪熊 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-050884
公開番号（公開出願番号）：特開平10-232115
出願日： 1997年02月18日
公開日（公表日）： 1998年09月02日
要約：

【要約】【課題】干渉計が有する固有の収差、及び干渉計の光軸と被検レンズ及び標準レンズの中心軸とのずれにより生じる計測誤差を除去し、標準レンズに対する被検レンズの透過波面の形状を高精度で計測することを課題とする。【解決手段】光源からの一部の光を参照面で反射させて参照光とし、他の一部の光を被検レンズを介して反射鏡で反射させて計測光とし、計測光を参照光と干渉させて干渉縞を形成し、干渉縞を観察することによって被検レンズの透過波面の形状を計測する工程と、被検レンズを標準レンズと置き換え、標準レンズの透過波面の形状を計測する工程と、被検レンズと標準レンズの透過波面の形状の差より、標準レンズに対する被検レンズの透過波面の形状を算出する工程と、からなる。

請求項（抜粋）：

光源からの一部の光を参照面で反射させて参照光とし、他の一部の光を被検レンズを介して反射鏡で反射させて測定光とし、該測定光を前記参照光と干渉させて干渉縞を形成し、該干渉縞を観察することによって前記被検レンズの透過波面の形状を計測する工程と、前記被検レンズを標準レンズと置き換え、該標準レンズの透過波面の形状を計測する工程と、前記被検レンズと前記標準レンズの透過波面の形状の差より、前記標準レンズに対する前記被検レンズの透過波面の形状を算出する工程と、からなる被検レンズの干渉計測法。