特許
J-GLOBAL ID:200903031894847792

テーラーメイドで官能化されたケイ素及び/又はゲルマニウム表面

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 廣田 雅紀
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-517983
公開番号(公開出願番号):特表2008-503893
出願日: 2005年06月21日
公開日(公表日): 2008年02月07日
要約:
本発明は、官能化されたケイ素及び/又はゲルマニウム表面、このようなテーラーメイドで官能化されたケイ素及び/又はゲルマニウム表面の調製方法、このようなテーラーメイドで官能化されたケイ素及び/又はゲルマニウム表面の表面に結合した有機材料を調製するための使用、及び工業デバイスにおける使用に関する。該Si及び/又はGe表面は、窒化ケイ素表面、炭化ケイ素表面、窒化ゲルマニウム表面、炭化ゲルマニウム表面、及びシリコンゲルマニウム表面を含む。【選択図】なし
請求項(抜粋):
官能化されたSi/Ge表面であって、該Si/Ge表面が、窒化ケイ素表面、炭化ケイ素表面、窒化ゲルマニウム表面、炭化ゲルマニウム表面及びシリコンゲルマニウム表面からなる群から選択され、該Si/Ge表面にアルキル部分又はアルケニル部分が共有結合しており、該アルキル部分及びアルケニル部分が、一般式(1)
IPC (3件):
H01L 21/312 ,  H01L 21/318 ,  H01L 21/314
FI (3件):
H01L21/312 N ,  H01L21/318 M ,  H01L21/314 M
Fターム (27件):
5F058AA10 ,  5F058AC10 ,  5F058AD02 ,  5F058AD09 ,  5F058AD11 ,  5F058AD12 ,  5F058AE02 ,  5F058AE04 ,  5F058AE05 ,  5F058AE10 ,  5F058AF04 ,  5F058AG03 ,  5F058AG10 ,  5F058AH01 ,  5F058BA20 ,  5F058BC08 ,  5F058BC20 ,  5F058BD01 ,  5F058BD10 ,  5F058BD18 ,  5F058BD19 ,  5F058BE03 ,  5F058BE04 ,  5F058BE10 ,  5F058BH11 ,  5F058BH20 ,  5F058BJ01
引用特許:
出願人引用 (3件)
  • 米国特許第6,569,979号
  • 米国特許第6,464,780号
  • 米国特許出願公開第2004/0087119号
審査官引用 (2件)
引用文献:
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