特許
J-GLOBAL ID：200903031907959790
露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-234608
公開番号（公開出願番号）：特開平7-094387
出願日： 1993年09月21日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：
【要約】【目的】 ステップ・アンド・スキャン方式の露光装置において、スリット状の照明領域の走査方向のエッジ部を十分平行にすると共に、レチクル上の複数のパターン領域中の所望のパターン領域のパターンのみを感光基板上に転写する。【構成】 レチクルR上の2つの回路パターン領域中の遮光部20C及び20Dに挟まれた回路パターン20Aのみをウエハ上に露光するため、固定の視野絞りにより形成されるスリット状の照明領域21に対してレチクルRを-X方向に走査する。走査露光の開始時では、可動ブラインドの羽根7AをレチクルRの遮光部20Dに重ねて移動させ、走査露光の終了時では羽根7Bを遮光部20Cに重ねて移動させる。
請求項（抜粋）：
転写用のパターンが形成されたマスク上のスリット状の照明領域を感光基板側に照明する照明光学系と、前記スリット状の照明領域に対して前記マスクと前記感光基板とを同期して走査する相対走査手段とを有し、該相対走査手段により前記スリット状の照明領域に対して前記マスクと前記感光基板とを同期して走査することにより、前記マスク上のパターンを逐次前記感光基板上に露光する露光装置において、前記マスクのパターン形成面の近傍の面、前記パターン形成面の共役面及び該共役面の近傍の面よりなる取り付け面群の内の第1の取り付け面上に配置された、前記マスク上の前記スリット状の照明領域の走査方向の幅を設定するための固定の視野絞りと、前記取り付け面群の内の前記第1の取り付け面と異なる第2の取り付け面上に配置された、前記マスク上の前記スリット状の照明領域内で前記感光基板上に実際に露光すべき可変の露光領域を設定するための可動の視野絞りと、を備え、該可動の視野絞りは前記可変の露光領域の走査方向に対してそれぞれ前側及び後側のエッジ部を設定する第1の羽根及び第2の羽根を有し、前記マスクのパターンの露光の開始時には前記可動の視野絞りの前記第1の羽根を駆動して、前記可変の露光領域の走査方向に対して前側のエッジ部を前記スリット状の照明領域に対して走査方向に同期して移動させ、前記マスクのパターンの露光の終了時には前記可動の視野絞りの前記第2の羽根を駆動して、前記可変の露光領域の走査方向に対して後側のエッジ部を前記スリット状の照明領域に対して走査方向に同期して移動させることを特徴とする露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (2件)
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特開昭61-247025
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特開昭60-232552
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