特許
J-GLOBAL ID：200903031918714756
X線CT装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河▲崎▼ 眞樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-379662
公開番号（公開出願番号）：特開2002-181737
出願日： 2000年12月14日
公開日（公表日）： 2002年06月26日
要約：
【要約】【課題】 CT用の試料ステージを備えたX線CT装置で、しかもICチップをはじめとする電子部品等の比較的小さな試料を、良好な作業性のもとに複数個一度に透視することのできるX線CT装置を提供する。【解決手段】 X線光軸Lが鉛直方向に沿うようにX線発生装置1,X線検出器2、およびその間のCT用試料ステージ3を配置するとともに、そのCT用試料ステージ3を、X線発生装置1とX線検出器2の間の測定位置から、X線発生装置1のX線放射口1aを含み、かつ、X線光軸Lに直交する平面Pで上下に分割される2つの空間のうち、X線検出器2を含まない空間の退避位置に移動させる退避機構(ヒンジ機構等)34を設けることにより、CT用試料ステージ3を退避させた状態で、水平の透視用テーブル41上に試料を並べるだけで、多数個の試料を一度に透視することを可能とし、CT装置として用いる場合には、CT用試料ステージ3を測定位置に復帰させるだけで直ちに使用可能な状態となるように構成する。
請求項（抜粋）：
X線発生装置とそのX線光軸上に配置されたX線検出器の間に、試料を保持してX線光軸に直交する軸の回りに回転させる機能を有する試料ステージが配置され、その試料ステージにより試料を回転させつつ、複数の回転角度において試料のX線透視像を取り込み、その複数のX線透視像を用いて試料の断層像を再構成するX線CT装置において、上記X線光軸が鉛直方向に沿うように上記X線発生装置、X線検出器および試料ステージが配置されているとともに、その試料ステージを、X線発生装置とX線検出器の間の測定位置から、X線発生装置のX線放射口を含み、かつ、X線光軸に直交する平面で上下に分割される2つの空間のうち、上記X線検出器を含まない側の空間の退避位置に移動させる退避機構を備えていることを特徴とするX線CT装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (18件)：
2G001AA01
, 2G001BA11
, 2G001CA01
, 2G001DA02
, 2G001DA09
, 2G001GA04
, 2G001GA06
, 2G001GA08
, 2G001GA13
, 2G001HA13
, 2G001JA08
, 2G001JA12
, 2G001JA16
, 2G001JA20
, 2G001LA11
, 2G001PA11
, 2G001PA14
, 2G001SA10
