特許
J-GLOBAL ID：200903031943105446
走査型電子顕微鏡のエミッションノイズキャンセル方式
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
蛭川 昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-110459
公開番号（公開出願番号）：特開平5-307942
出願日： 1991年05月15日
公開日（公表日）： 1993年11月19日
要約：
【要約】【目的】 画像上電子銃からの放出電流変動によるノイズを取り除く。【構成】 電界放射型電子銃を用いた走査型電子顕微鏡にオフセット補正モードを設け、試料スキャンを停止した状態でオフセット量を階段状に変化させながら電子線の一部を検出して得たノイズキャンセル用信号と試料から放出される信号との割算結果の変化量の絶対値を積算し、積算値をモニタしてこの値が最小になるオフセット量を設定し、検出信号から設定したオフセット量を差し引くことにより、常にオフセットを除き、画像上電子銃からの放出電流変動によるエミッションノイズを確実に取り除く。
請求項（抜粋）：
電界放射型電子銃から放出される電子線の一部を検出し、この検出信号と試料から放出される電子を検出して得られた信号とを割算器で除算することによりエミッションノイズをキャンセルするようにした走査型電子顕微鏡において、試料から放出される電子を検出する検出器と割算器との間に設けられたオフセット調整回路と、割算器出力信号の変化量を積分する積分器と、積分器出力が入力されるとともに、オフセット調整回路へのオフセット量を設定する演算処理制御手段とを備え、演算処理制御手段は、走査停止状態でオフセット量を変化させながら積分器から得られる積算値をモニタし、積算値が最小になるオフセット量を求めてオフセット調整回路へ設定することを特徴とする走査型電子顕微鏡のエミッションノイズキャンセル方式。
IPC (4件)：
H01J 37/22
, H01J 37/04
, H01J 37/073
, H01J 37/28
