特許
J-GLOBAL ID:200903031945104668

バリア被覆および高出力プラズマ化学気相成長法によってプラスチック物体上にバリア被覆を堆積する方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 谷 義一 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-277468
公開番号(公開出願番号):特開2000-127290
出願日: 1999年09月29日
公開日(公表日): 2000年05月09日
要約:
【要約】【課題】 プラスチック支持体に損傷を与えることなく、またその結果被覆に欠陥を引き起こすことなく、巨視的欠陥が無いプラスチック支持体に高エネルギーレベルで無機被覆が堆積されたプラスチック支持体の提供。【解決手段】 上面および底面と、支持体の前記上面の上に結合された緩衝層と、プラズマ化学気相法によって130Wより大きい電力レベルで付着した、前記緩衝層の上に結合された無機被履とを含むプラスチック支持体。
請求項(抜粋):
上面および底面と、支持体の前記上面の上に結合された緩衝層と、プラズマ化学気相成長法によって130Wより大きい電力レベルで付着した、前記緩衝層の上に結合された無機被覆とを含むことを特徴とするプラスチック支持体。
IPC (3件):
B32B 9/00 ,  B05D 7/24 302 ,  C08J 7/04
FI (3件):
B32B 9/00 A ,  B05D 7/24 302 A ,  C08J 7/04 Z
引用特許:
審査官引用 (2件)

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