特許
J-GLOBAL ID：200903031946547180
陽極接合装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-224857
公開番号（公開出願番号）：特開平8-088154
出願日： 1994年09月20日
公開日（公表日）： 1996年04月02日
要約：
【要約】【目的】 シリコンとガラスの陽極接合において発生する接合界面応力を低減する。【構成】 加熱され、当接されたシリコンウエハ1とガラス部材2のシリコンウエハに当接する第1の電極板4と、ガラス部材2のシリコンウエハ当接面に対する背面に当接する第2の電極板5との間に電圧を印加する直流電圧電源9と、前記第1の電極板4および第2の電極板5に印加される直流電圧の極性を切り替える極性切替スイッチ11aを含む制御部11と、第1および第2の電極板の間の電流を監視する電流モニタ10と、ガラス部材2内での移動した電荷量を算出する移動電荷量算出手段を含む演算部12とを有している。制御部11は第1の電極板が陽極として電圧が印加されている間の移動電荷量に基づき、極性を反転させて電圧を印加するように直流電圧電源9に指示を行う。
請求項（抜粋）：
シリコンウエハに当接する第1の電極と、前記シリコンウエハに当接する可動イオンを含むガラス部材の、シリコンウエハ当接面に対する背面に当接する第2の電極と、前記第1および第2の電極に直流電圧を印加する直流電圧電源と、前記直流電圧電源の出力電圧を制御する制御部と、前記シリコンウエハおよび前記ガラス部材を加熱する加熱手段と、前記第1および第2の電極間に流れる電流を監視する電流モニタと、前記電流モニタの出力に基づき前記ガラス部材内の移動電荷量を算出する移動電荷量算出手段と、前記第1の電極と第2の電極の極性を切り替える切替手段と、を有することを特徴とする陽極接合装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
