特許

J-GLOBAL ID：200903031949074054

静圧流体軸受およびその位置決め制御装置

発明者： 涌井 伸二 ,  浅田 克己 ,  佐藤 幹夫
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-046384
公開番号（公開出願番号）：特開平5-215133
出願日： 1992年02月03日
公開日（公表日）： 1993年08月24日
要約：

【要約】【目的】 軸受の組立精度や機械的精度のバラツキあるいは軸受の移動による場所的変化による軸受隙間の変化を防止した静圧空気軸受を提供する。【構成】 流体を対向面に噴出してその静圧により対向面との間に隙間を保つため静圧パッド5a、5bと、前記隙間を減少させる方向に作用するバイアス用磁石12a、12bと、該バイアス用磁石の磁場変調用コイル13a、13bとを備えたことを特徴とする静圧流体軸受。

請求項（抜粋）：

流体を対向面に噴出してその静圧により対向面との間に隙間を保つための静圧パッドと、前記隙間を減少させる方向に作用するバイアス用磁石と、該バイアス用磁石の磁場変調用コイルとを備えたことを特徴とする静圧流体軸受。

IPC (3件)：

F16C 32/00 ,  F16C 32/04 ,  F16C 32/06

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-070457
  
• 特開昭62-138045
  
• 特開昭61-251459
  
• 特開昭62-239852