特許

J-GLOBAL ID：200903031949217521

被処理体の処理のスケジューリング方法及びその装置

発明者： 三浦 儀一 ,  新井 英夫
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 浅井 章弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-087477
公開番号（公開出願番号）：特開平7-283093
出願日： 1994年04月01日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 被処理体に複数の処理装置間に渡って一連の処理を施す時に、処理開始までの待機時間を非常に少なくして一連の処理を円滑に行う。【構成】 複数の処理装置に渡って被処理体Wを所定枚数毎に搬送しつつ一連の処理工程に於て、データ入力工程で各処理装置における各処理条件毎の処理時間をデータとして入力し、第1の処理工程にて、このデータに基づいて所定の枚数単位毎の工程を立てる。この時、次段の処理開始時刻が前段の処理終了時刻と同じかその後になるように処理の流れを立てる。次に第2の処理工程において、時間的に隣り合う所定の枚数単位の工程同士が時間的に重ならないように全体の工程を立てる。そして、処理工程において、工程表に基づいて各工程の実際の処理時間は計測されて、複数回処理の平均的な処理時間により上記入力時のデータが更新され、これを基に再処理工程が立てられ、目的を達成する。

請求項（抜粋）：

複数の処理装置に渡って所定の個数又は枚数単位で被処理体を搬送しつつ前記各処理装置に対応する所定の処理を前記被処理体に連続的に施す際のスケジューリング装置において、前記各処理装置における処理条件毎の所定の個数又は枚数単位の処理時間をデータとして入力するデータ入力手段と、このデータ入力手段で入力されたデータを記憶するデータ記憶手段と、このデータ記憶手段の内容に基づいて、各所定の個数又は枚数単位の被処理体に対して、次段の前記処理装置の処理開始時刻が前段の前記処理装置の処理終了時刻と時間的に同一か或いはそれより後になるように処理の流れをスケジュールする第1のスケジュール手段と、この第1のスケジュール手段のスケジュール結果に基づいて、先行して処理される所定の個数又は枚数単位の被処理体のスケジュールとこれに引き続いて後行して処理される所定の個数又は枚数単位の被処理体のスケジュールとを比較して同一処理装置内において前記2つのスケジュール間に時間的な重なりが存在する場合にはこの時間的な重なりが消滅するまで前記後行して処理される被処理体のスケジュールを時間軸に沿って移動させるように処理の流れをスケジュールする第2のスケジュール手段と、この第2のスケジュール手段の結果に基づいて、前記各処理装置の各種駆動系に所定の指令を出力する処理指令手段と、前記各処理装置における実際の処理時間に基づいて前記データ記憶手段の内容を更新すると共に前記第1及び第2のスケジュール手段に再スケジュールを行うように指示する再スケジュール指令手段とを備えたことを特徴とする被処理体の処理のスケジューリング装置。