赤外域多層膜

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-102580
公開番号（公開出願番号）：特開平6-313802
出願日： 1993年04月28日
公開日（公表日）： 1994年11月08日
要約：

【要約】【構成】赤外光学用基板に形成された赤外域多層膜において、基板側からの最外層にY2O3からなる耐磨耗性強化層を設けたことを特徴とする赤外域多層膜。【効果】最外層がY2O3層である本発明の赤外反射防止膜は、分光特性が劣化することなく、耐磨耗性が向上している。

請求項（抜粋）：