特許
J-GLOBAL ID：200903031958744399
アライメント測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-023804
公開番号（公開出願番号）：特開平5-226220
出願日： 1992年02月10日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：
【要約】【目的】 アライメントを行う試料の表面の反射率、形成されているアライメントマークの段差の高さや塗布されているレジストの厚さ等が種々異なっても、アライメントマークとそうでない所とで良好なコントラストをもった画像データが得られるようにしたものを提供する。【構成】 試料3上に形成されたアライメントマーク3aを画像処理で明暗のイメージデータとして取り込み、試料3の位置決めを行うアライメント測定装置において、前記アライメントマーク3aを照射する照射光源1として、発光スペクトルが連続かつフラットなものを使用するとともに、透過波長帯域が狭く、透過波長の中心波長が異なる複数の光学フィルタを有し、この複数の光学フィルタのうちの一枚を照明光の光路内に位置させる波長選択装置4を備えたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
試料上に形成されたアライメントマークを画像処理で明暗のイメージデータとして取り込み、試料の位置決めを行うアライメント測定装置において、前記アライメントマークを照射する照射光源として、発光スペクトルが連続かつフラットなものを使用するとともに、透過波長帯域が狭く、透過波長の中心波長が異なる複数の光学フィルタを有し、この複数の光学フィルタのうちの一枚を照明光の光路内に位置させる波長選択装置を備えたことを特徴とするアライメント測定装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03B 27/32
, G03F 9/00
