白色発光Si:SiO2膜およびそれを具備した白色発光素子

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西澤利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-240811
公開番号（公開出願番号）：特開2003-277740
出願日： 2002年08月21日
公開日（公表日）： 2003年10月02日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】白色発光する白色発光Si:SiO2膜を提供する。【解決手段】基板上にスパッタリング成膜により形成された、SiO2中にSiが膜全体に対する体積比率で6.0%以下の割合で含有されたSi:SiO2膜とし、スパッタリングの後にアニール処理が行われていない白色発光Si:SiO2膜とする。

請求項（抜粋）：

基板上に気相成膜により形成された、SiO2中にSiが膜全体に対する体積比率で6.0%以下の割合で含有されたSi:SiO2膜であり、白色発光することを特徴とする白色発光Si:SiO2膜。

IPC (4件)：

C09K 11/00 , C09K 11/08 , C09K 11/59 CPB , H01L 33/00

FI (4件)：

C09K 11/00 A , C09K 11/08 A , C09K 11/59 CPB , H01L 33/00 A

Fターム (9件)：

4H001CA04 , 4H001CF01 , 4H001XA08 , 4H001XA14 , 4H001YA14 , 5F041AA11 , 5F041CA33 , 5F041CA73 , 5F041CA77

引用特許：

出願人引用 (7件)

発光デバイスおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-228148 出願人：日新電機株式会社
発光型表示装置およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-280369 出願人：カシオ計算機株式会社
シリコン系発光材料の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-235785 出願人：株式会社東芝

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