特許

J-GLOBAL ID：200903031959640562

白色発光Si:SiO2膜およびそれを具備した白色発光素子

発明者： 花泉 修
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団
代理人 (1件)： 西澤 利夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-240811
公開番号（公開出願番号）：特開2003-277740
出願日： 2002年08月21日
公開日（公表日）： 2003年10月02日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 白色発光する白色発光Si:SiO2膜を提供する。【解決手段】 基板上にスパッタリング成膜により形成された、SiO2中にSiが膜全体に対する体積比率で6.0%以下の割合で含有されたSi:SiO2膜とし、スパッタリングの後にアニール処理が行われていない白色発光Si:SiO2膜とする。

請求項（抜粋）：

基板上に気相成膜により形成された、SiO2中にSiが膜全体に対する体積比率で6.0%以下の割合で含有されたSi:SiO2膜であり、白色発光することを特徴とする白色発光Si:SiO2膜。

IPC (4件)：

C09K 11/00 ,  C09K 11/08 ,  C09K 11/59 CPB ,  H01L 33/00

FI (4件)：

C09K 11/00 A ,  C09K 11/08 A ,  C09K 11/59 CPB ,  H01L 33/00 A

Fターム (9件)：

4H001CA04 ,  4H001CF01 ,  4H001XA08 ,  4H001XA14 ,  4H001YA14 ,  5F041AA11 ,  5F041CA33 ,  5F041CA73 ,  5F041CA77