特許
J-GLOBAL ID：200903031961956895
露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-161588
公開番号（公開出願番号）：特開平7-057986
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：
【要約】【目的】 露光領域が大きな場合でも、スループットを低下させずに、良好な結像性能のもとで回路パターンを転写できる露光装置を提供すること。【構成】 第1の物体(8) と第2の物体(9) とを移動させつつ第1の物体の像を第2の物体上へ投影露光する露光装置は、第1の物体の等倍の正立像を第2の物体上に形成する第1及び第2の投影光学系 (2a,2b)を有する。第1及び第2の投影光学系は、少なくとも像側がテレセントリックで構成される。
請求項（抜粋）：
第1の物体と第2の物体とを移動させつつ前記第1の物体の像を前記第2の物体上へ投影露光する露光装置において、前記第1の物体の等倍の正立像を前記第2の物体上に形成する第1及び第2の投影光学系を有し、前記第1及び第2の投影光学系は、少なくとも像側がテレセントリックで構成されることを特徴とする露光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
, G03F 7/22
