特許
J-GLOBAL ID：200903031970182576
表面欠陥検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小杉 佳男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-247765
公開番号（公開出願番号）：特開平9-089800
出願日： 1995年09月26日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：
【要約】【課題】被検査物健全部における信号強度変化を抑制し、かつ、高い欠陥検出性能を有する表面欠陥検査装置を提供する。【解決手段】被検査物11の表面に投光器12で光を照射し、その正反射光13を、被検査物11表面粗さに対応する凹凸の平均間隔より大きな寸法のものしか検出できない低い空間分解能を有する第1の受光器14で受光し、また乱反射光15は、検査対象とする表面欠陥の寸法より小さな寸法のものも検出できる高い空間分解能を有する第2の受光器16で受光し、信号処理器17で処理して表示器18に表示する。
請求項（抜粋）：
被検査物の表面に光を照射する投光器と、該表面からの反射光を受光する受光器と、該受光器の受光信号の強度変化に基づいて前記被検査物表面に発生する欠陥を検出する信号処理器によって構成される被検査物の表面欠陥検査装置において、被検査物表面粗さに対応する凹凸の平均間隔より大きな間隔を有する2点のみ識別し得る空間分解能を有し、被検査物からの正反射光を受光する第1の受光器と、検査対象とする表面欠陥の寸法より小さい間隔を有する2点を識別し得る空間分解能を有し、被検査物からの乱反射光を受光する第2の受光器とを備えたことを特徴とする表面欠陥検査装置。
FI (2件)：
G01N 21/89 B
, G01N 21/89 A
