露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：中島淳 , 加藤和詳 , 西元勝一 , 福田浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-332201
公開番号（公開出願番号）：特開2004-163814
出願日： 2002年11月15日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：

【課題】記録媒体に複数の描画領域が設けられている場合でも、描画領域の増加に伴って記録媒体に対する画像形成時間が増加することを防止する。【解決手段】レーザー露光装置100では、走査方向とは反対の方向へ移動する露光ステージ108上に載置された基板材料102のアライメントマークを、支持ゲート122に搭載されたCCDカメラ124,126,128により読み取った後、レーザースキャナからのレーザービームによりアライメントマークにより位置が判断された描画領域を露光する。このとき、走査方向Sに沿ったCCDカメラ124,126,128からレーザースキャナ134までの測定距離が基板材料102における描画領域の先端及び後端にそれぞれ対応して設けられたアライメントマークのピッチ以上の長さとされている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

記録媒体を所定の走査方向へ相対的に移動させつつ、該記録媒体における所定の描画領域を画像情報に基づき変調された光ビームにより露光して該描画領域に画像情報に対応する画像を形成する露光装置であって、前記走査方向へ相対的に移動する記録媒体に対向する読取位置で、該記録媒体から描画領域に対応して設けられたアライメントマークを読み取る読取部と、前記読取部からの読取情報に基づいて記録媒体における描画領域の位置を判断すると共に、該描画領域の位置に応じて画像情報に対する位置変換処理を行う情報処理部と、前記走査方向に沿って前記読取部の下流側に配置され、前記走査方向へ相対的に移動する記録媒体に対向する露光位置で、該記録媒体の描画領域を前記情報処理部からの画像情報に基づき変調された光ビームにより露光して該描画領域に画像を形成する露光部とを有し、前記走査方向に沿った前記読取部から前記露光部までの距離を、該露光部により露光される描画領域の先端及び後端又は、該描画領域が前記走査方向に沿って区画された小領域の先端及び後端にそれぞれ対応して設けられたアライメントマークのピッチ以上の長さとしたことを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

G03F9/00 , G03F7/20

FI (2件)：

G03F9/00 A , G03F7/20 505

Fターム (6件)：

2H097AA03 , 2H097AB05 , 2H097CA17 , 2H097KA13 , 2H097KA20 , 2H097LA09

引用特許：

審査官引用 (1件)

描画装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-219589 出願人：東レエンジニアリング株式会社

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