特許

J-GLOBAL ID：200903031976954635

プラズマ電子銃

発明者： 男谷 忠義
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-174248
公開番号（公開出願番号）：特開平6-020631
出願日： 1992年07月01日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：

【要約】【目的】 スクリーン電極へのイオンの衝突を著しく少なくして電極がスパッタされることを防止した、高出力のプラズマ電子銃を実現する。【構成】 イオンは、電子ビームの取りだしの向きとは逆の向きに加速されてスクリーン電極12とオリフィス30に向かって進行する。このイオンは、スクリーン電極12の前面に配置されたシールド電極33に衝突する。シールド電極33はイオンの衝突によってスパッタされるが、スパッタされたシールド電極物質粒子は、加速部壁26の内面に付着する。しかし、シールド電極33の材料は、加速部壁26と同じ材料で形成されているので、放電部壁26内面を汚染することはない。また、碍子32にはスパッタされた粒子が付着しないので、シールド電極33や加速部壁26はスクリーン電極とは常に絶縁され、電気的にフローティングの状態が維持される。

請求項（抜粋）：

第1の電極と第2の電極との間に形成される放電部と、第2の電極と第3の電極との間に形成される加速部と、該放電部に不活性ガスを導入する手段と、該放電部に供給する電子を発生するフィラメントとを備え、該放電部でプラズマを生成し、生成したプラズマから加速部に電子ビームを取り出すように構成したプラズマ電子銃において、第2の電極の加速部側の面を覆うように加速部壁と同電位のシールド部材を設けたことを特徴とするプラズマ電子銃。

IPC (2件)：

H01J 37/077 ,  H05H 7/08