特許
J-GLOBAL ID：200903031987443896
成膜装置のディスク支持装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤田 龍太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-107562
公開番号（公開出願番号）：特開平6-295869
出願日： 1993年04月08日
公開日（公表日）： 1994年10月21日
要約：
【要約】【目的】 ディスクの上面を押える押え体を、ディスクの上方に位置する支持アームにより支持しないようにし、成膜速度,膜質,膜厚分布の向上をはかる。【構成】 昇降自在の自転軸19と、自転軸19の上端部の周面に形成され,ディスク10の中央孔13の周縁部の下面が載置される受部12と、自転軸19の上端に拡開,縮閉自在に設けられ,受部12に載置されたディスク10の前記周縁部の上面を押圧する押え体27とを備える。
請求項（抜粋）：
昇降自在の自転軸と、該自転軸の上端部の周面に形成され,ディスクの中央孔の周縁部の下面が載置される受部と、前記自転軸の上端に拡開,縮閉自在に設けられ,前記受部に載置されたディスクの前記周縁部の上面を押圧する押え体とを備えた成膜装置のディスク支持装置。
IPC (3件)：
H01L 21/205
, C23C 14/50
, H01F 41/14
