特許
J-GLOBAL ID：200903031987991419
ウエハ収納箱搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-327580
公開番号（公開出願番号）：特開平8-186160
出願日： 1994年12月28日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：
【要約】【目的】ウェハ収納箱搬送装置において、後続台車の待ち時間を削減し搬送効率を向上させる。【構成】同一軌道レール1上で停滞する先行の台車2bと後続の台車2aのキャリア3を移し替える移し替え機構4を各ステーション12a,12b間に設け、キャリア3を移し替えを行ない台車2a,2bの行き先を任意に替えている。
請求項（抜粋）：
半導体基板であるウェハの複数枚を収納するウェハ収納箱の受け渡しが行なわれる複数のステーション間に配設される軌道レールと、前記ウェハ収納箱を乗せ前記軌道レール上を走行し任意の前記ステーションで停止する複数の台車とを備えるウェハ収納箱搬送装置において、前記台車の2台が接近し停滞したとき前記2台の台車の前記ウェハ収納箱を前記軌道レール上で移し替える移し替え機構を備えることを特徴とするウェハ収納箱搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B25J 5/02
, B65G 49/07
