ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-032577
公開番号（公開出願番号）：特開2009-192760
出願日： 2008年02月14日
公開日（公表日）： 2009年08月27日
要約：

【課題】本発明の目的は、高解像性、高感度等の優れた感光特性を有した良好なポジ型感光性樹脂組成物等を提供することにある。【解決手段】(1)(A)分子中に含まれるヒドロキシル基の一部が、一般式(I)【化11】(式中、R1、R2およびR3は、同一または異なって、置換もしくは非置換のアルキル、置換もしくは非置換のアリールまたは置換もしくは非置換のアラルキルを表すか、R1とR2が、隣接する炭素原子と一緒になってシクロアルキルを形成するか、またはR2とR3が、隣接するC-C-Oと一緒になって含酸素複素環を形成してもよい)で表される基で置換されたポリイミド前駆体、および(B)キノンジアジド構造を有する化合物を含有するポジ型感光性樹脂組成物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

(A)分子中に含まれるヒドロキシル基の一部が、一般式(I)

IPC (3件)：

G03F 7/023 , C08G 73/10 , H01L 21/027

FI (3件)：

G03F7/023 , C08G73/10 , H01L21/30 502R

Fターム (65件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AB15 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AC04 , 2H025AC05 , 2H025AC06 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB25 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 4J043PA19 , 4J043PC075 , 4J043QB31 , 4J043RA06 , 4J043RA35 , 4J043SA02 , 4J043SA06 , 4J043SA42 , 4J043SA47 , 4J043SA54 , 4J043SA62 , 4J043SA71 , 4J043SA72 , 4J043SB01 , 4J043TA22 , 4J043TB01 , 4J043UA022 , 4J043UA032 , 4J043UA041 , 4J043UA042 , 4J043UA051 , 4J043UA061 , 4J043UA082 , 4J043UA121 , 4J043UA131 , 4J043UA132 , 4J043UA261 , 4J043UA262 , 4J043UA761 , 4J043UB011 , 4J043UB021 , 4J043UB061 , 4J043UB062 , 4J043UB121 , 4J043UB152 , 4J043UB241 , 4J043UB281 , 4J043UB301 , 4J043UB311 , 4J043UB401 , 4J043UB402 , 4J043VA041 , 4J043VA081 , 4J043VA091 , 4J043XA16 , 4J043YA06 , 4J043YB07 , 4J043YB21 , 4J043ZA22 , 4J043ZB22

引用特許：

出願人引用 (2件)

特許第3895945号
特開平4-120171号公報

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