特許
J-GLOBAL ID：200903032003342454
めっき厚の測定方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷 義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-129600
公開番号（公開出願番号）：特開平6-341806
出願日： 1993年05月31日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：
【要約】【目的】 複数層のめっきのうちの最上層のめっき厚を非破壊で高精度に測定すること。【構成】 母板1上の互いに電気的特性の異なる複数層のめっきに対してコイル3からの1次磁界によって渦電流を誘起し、この渦電流によって生じた2次磁界からコイル3によって2次電流を検出し、この2次電流に基づいて母板1上の最上層のめっき厚を測定する方法であって、前記渦電流を誘起するための交流磁界の周波数を連続的に変化させて渦電流の浸透深さを変化させ、これに伴って最上層と次の層との境界に渦電流の浸透深さが達したときに生じる2次電流の変曲点を検出し、この変曲点における周波数をあらかじめ求めておいた励磁周波数と求めるめっきの渦電流の浸透深さ(めっき厚)との関係に適用して最上層のめっき厚を求める。
請求項（抜粋）：
母板上の互いに電気的特性の異なる複数層のめっきに対して渦電流を誘起し、当該渦電流によって生じた2次磁界から2次電流を検出し、当該2次電流に基づいて前記母板上の最上層のめっき厚を測定する方法であって、前記渦電流を誘起するための交流磁界の周波数を連続的に変化させて前記2次電流の変曲点を検出し、当該変曲点における周波数に基づいて前記最上層のめっき厚を求めることを特徴とするめっき厚の測定方法。
IPC (2件)：
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