特許

J-GLOBAL ID：200903032007692387

形状測定方法および装置

発明者： 田中 秀規 ,  岡沢 康夫 ,  佐藤 賢蔵
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 三品 岩男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-155432
公開番号（公開出願番号）：特開平7-036527
出願日： 1993年06月25日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：

【要約】【構成】被測定物の外形に沿って予め決められた各測定点に対して測定端子70を相対移動させて、該測定端子から得られる出力と、各測定点ごとの測定端子の位置を測長計91により測定して、各測定点について、それらの位置と測定端子の出力とから位置を求めることにより、被測定物の形状を求める。この場合において、測定端子70を被測定物の目的の測定点に対して相対移動させつつ、測定端子の出力を、予め定めたタイミングで、逐次取り込むと共に、上記タイミングに同期して、測定端子の位置を測定する。各測定点について、測定端子出力および位置データに基づいて、測定端子出力が所定の値となる時の測定端子の位置を求める。この時の測定端子の位置に基づいて、被測定物の形状を求める。【効果】使用する測定端子の精度、感度および非直線性の影響を受けずに測定が行なえて、正確な形状測定ができる。また、本発明によれば、測定端子の出力が安定するまでの待ち時間を必要とせず、測定時間を短縮することができる。

請求項（抜粋）：

被測定物の外形に沿って予め決められた各測定点に対して測定端子を相対移動させて、該測定端子から得られる出力と、各測定点ごとの測定端子の位置を測定して、各測定点について、それらの位置と測定端子の出力とから位置を求めることにより、被測定物の形状を求める形状測定方法において、測定端子を被測定物の目的の測定点に対して相対移動させつつ、測定端子の出力を、予め定めたタイミングで、逐次取り込むと共に、上記タイミングに同期して、測定端子の位置を測定し、各測定点について、測定端子出力および位置データに基づいて、測定端子出力が所定の値となる時の測定端子の位置を求め、この時の測定端子の位置に基づいて、被測定物の形状を求めることを特徴とする形状測定方法。

IPC (3件)：

G05B 19/4097 ,  B23Q 17/20 ,  G01B 21/20 101