特許

J-GLOBAL ID：200903032007989568

段差測定装置および段差測定方法

発明者： 磯崎 茂則 ,  佐々木 賢司
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 大胡 典夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-271601
公開番号（公開出願番号）：特開2000-097648
出願日： 1998年09月25日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【課題】 平板状の基板に設けたれた段差の測定に関し、特に、半導体ウエハ表面に形成されたエッチング段差を測定するための段差測定装置とその方法。【解決手段】 基板8に設けられた段差10での干渉光強度測定値と干渉モデルからの算出値とを比較して最も測定値に近い場合に用いたモデルでの段差値を被測定物の段差Dとする

請求項（抜粋）：

表面に透光性膜が形成され、かつ、任意の箇所に段差が設けられた基板の前記段差を測定するに際し、光源から測定光を前記段差の底面と前記透光性膜に照射し、前記透光性膜からの反射光と前記段差からの反射光とを同一の検出器によって検出し、その検出結果を演算処理して段差を測定する段差測定装置において、前記検出器が検出する検出光の入力は、前記2つの反射光が生成する干渉光の光強度分布であることを特徴とする段差測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/22 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

G01B 11/22 G ,  H01L 21/66 P

Fターム (22件)：

2F065AA25 ,  2F065BB22 ,  2F065BB25 ,  2F065CC19 ,  2F065DD13 ,  2F065FF52 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065LL46 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ25 ,  2F065RR06 ,  2F065RR09 ,  2F065TT07 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106CA48 ,  4M106DH03 ,  4M106DH12 ,  4M106DH31 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20