特許

J-GLOBAL ID：200903032012167479

ワイヤーグリット型偏光子及びその製造方法

発明者： 亀野 逸人 ,  吉城 泰信
出願人/特許権者： 日本分光株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 祐司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-150402
公開番号（公開出願番号）：特開2001-330728
出願日： 2000年05月22日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：

【要約】【課題】 本発明の目的は、比較的簡単な工程で、安価な材料からワイヤーグリット型の偏光子を提供することである。【解決手段】 前記目的を達成するために本発明にかかるワイヤーグリット型偏光子は、特定の波長範囲にある光を透過させない基板と、前記基板の表裏両面に設けられたホトレジスト層とを有し、前記ホトレジスト層には、基板の表裏両面で互いに平行の関係となるように複数の凹凸による平行線パターンが形成されており、前記基板の表裏両面に形成された凹凸による平行線パターンの凸部頂上及びその近傍にのみ金属を蒸着して、基板の表裏両面にワイヤーグリットが形成されていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

特定の波長範囲にある光を透過させない基板と、前記基板の表裏両面に設けられたホトレジスト層とを有し、前記ホトレジスト層には、基板の表裏両面で互いに平行の関係となるように複数の凹凸による平行線パターンが形成されており、前記基板の表裏両面に形成された凹凸による平行線パターンの凸部頂上及びその近傍にのみ金属を蒸着して、基板の表裏両面にワイヤーグリットが形成されていることを特徴とするワイヤーグリット型偏光子。

IPC (2件)：

G02B 5/30 ,  G02B 5/18

FI (2件)：

G02B 5/30 ,  G02B 5/18

Fターム (11件)：

2H049AA02 ,  2H049AA12 ,  2H049AA34 ,  2H049AA43 ,  2H049AA46 ,  2H049AA48 ,  2H049AA58 ,  2H049BA02 ,  2H049BA45 ,  2H049BC01 ,  2H049BC23