特許
J-GLOBAL ID：200903032018551416
統合補修システム及び自動不良検出システムとその制御方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小野 由己男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-235806
公開番号（公開出願番号）：特開2000-082729
出願日： 1999年08月23日
公開日（公表日）： 2000年03月21日
要約：
【要約】【課題】 TFT-LCDの補修システムにおいて、検査及び補修に要する時間を短縮する。【解決手段】 それぞれの検査機で発生した不良の内容を含んだファイルを統合し、全ての検査機が遂行された後に製造工程の最終段階で補修機が統合されたファイルを参照して一度に補修する。具体的には、それぞれの処理工程において所定のパターンが形成される基板を、各工程後に順次に光学的または電気的に検査し、検査結果を一定の形式でファイルに保存する複数の検査機500と、複数の検査機と連結され、検査機によって保存されたファイルを取得し、ファイルに対するファイル統合作業を遂行した後、統合されたファイルを参照して補修作業を一括的に遂行する補修機600と、から構成される。
請求項（抜粋）：
それぞれの処理工程において所定のパターンが形成される基板を、各工程後に順次に光学的または電気的に検査し、検査結果を一定の形式でファイルに保存する複数の検査機と、前記複数の検査機と連結され、前記検査機によって保存されたファイルを取得し、前記ファイルに対するファイル統合作業を遂行した後、統合されたファイルを参照して補修作業を一括的に遂行する補修機と、を含むマイクロエレクトロニクスデバイスの統合補修システム。
IPC (2件)：
H01L 21/66
, G02F 1/13 101
H01L 21/66 Z
, H01L 21/66 J
, G02F 1/13 101
