特許
J-GLOBAL ID：200903032019652984
液晶表示基板製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-216608
公開番号（公開出願番号）：特開平11-064834
出願日： 1997年08月11日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：
【要約】【課題】 保護膜の有無およびその膜圧に依存することなくスクライブを行うことが可能な液晶表示基板製造装置を提供すること。【解決手段】 ガラス基板を載置する載置台と、該載置台と一体に構成され、一端部が前記載置台の表面に通じる1個以上の空気孔と、該空気孔から空気を吸引する空気吸引手段と、前記ガラス基板を所定位置で切断するための垂直クラックをいれるスクライブ手段とを有する液晶表示基板製造装置において、前記載置台は前記スクライブ手段の移動方向に沿った1つ以上の開口部を具備し、前記スクライブ手段は前記載置台が成膜面側とは反対の側で保持した液晶表示基板を前記開口部を通して保持側から垂直クラックを形成する。
請求項（抜粋）：
ガラス基板を載置する載置台と、該載置台と一体に構成され、一端部が前記載置台の表面に通じる1個以上の空気孔と、該空気孔から空気を吸引する空気吸引手段と、前記ガラス基板を所定位置で切断するための垂直クラックをいれるスクライブ手段とを有する液晶表示基板製造装置において、前記載置台は前記スクライブ手段の移動方向に沿った1つ以上の開口部を具備し、前記スクライブ手段は前記載置台が成膜面側とは反対の側で保持した液晶表示基板を前記開口部を通して保持側から垂直クラックを形成することを特徴とする液晶表示基板製造装置。
IPC (3件)：
G02F 1/1333 500
, C03B 33/02
, C03B 33/037
G02F 1/1333 500
, C03B 33/02
, C03B 33/037
