膜の物理的性質をモニタするモニタリング装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：富田和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-334523
公開番号（公開出願番号）：特開平6-179971
出願日： 1992年12月15日
公開日（公表日）： 1994年06月28日
要約：

【要約】【目的】インライン型成膜装置で、形成膜の物理特性を連続観測することが可能なモニタリング装置を提供する。【構成】成膜装置7内の成膜粒子10の一部が付着する位置にモニタ用基板1aを配置する。また、成膜装置内で成膜される膜の物理的性質を検出するために、モニタ用基板1a上に成膜される膜の物理的性質を、成膜装置7内で検出する膜性質検出手段を配置する。さらに、モニタ用基板1a上に成膜された膜を成膜装置7内で除去するための除去手段14を配置する。【効果】形成膜の物理特性を常に観測できるので、プロセスの歩留りを向上できる。

請求項（抜粋）：

成膜装置の成膜源からの成膜粒子の一部を付着させて、成膜装置内で成膜される膜の物理的性質をモニタするためのモニタ用基板と、前記モニタ用基板を保持する保持手段と、前記モニタ用基板上に成膜される膜の物理的性質を前記成膜装置内で検出する膜性質検出手段と、前記モニタ用基板上に成膜された膜を前記成膜装置内で除去するための除去手段とを有することを特徴とするモニタリング装置。

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