特許
J-GLOBAL ID:200903032023427120
らせん状単結晶の製造方法並びにその製造装置及びる つぼ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
佐藤 隆久 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-281991
公開番号(公開出願番号):特開平8-143399
出願日: 1994年11月16日
公開日(公表日): 1996年06月04日
要約:
【要約】【目的】らせん状の単結晶を得る。【構成】原料融解るつぼ10内に連通するノズル12を介して融液Lに種結晶40を漬けた後、種結晶40を引き上げ又は引き下げることによってファイバー状単結晶を製造するに際し、種結晶40を回転軸心Aの回りに回転させつつ回転軸心A方向に移動させる。この方法は酸化物結晶に有効である。製造装置20は、種結晶保持具31と、種結晶保持具31を回転軸心から所定距離離間させる連結部材30と、該連結部材30を回転軸心Aの回りに一定の速度で回転させる回転機構21と、該回転機構21をその回転軸心A方向に一定速度で移動させる垂直移動機構23とを具備する。単結晶の原料を融解するるつぼとして、るつぼ10内部の融液をるつぼ外部と連通させる細口のノズル12を設け、該ノズルの向きを水平方向〜水平方向から30度とする。
請求項(抜粋):
原料融解るつぼ内に連通するノズルを介して融液に種結晶を漬けた後、種結晶を引き上げ又は引き下げることによってファイバー状単結晶を製造するに際し、種結晶を回転軸心の回りに回転させつつ回転軸心方向に移動させることを特徴とするらせん状単結晶の製造方法。
IPC (4件):
C30B 29/60
, C30B 15/06
, C30B 15/30
, C30B 29/30
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