特許
J-GLOBAL ID：200903032029144740
金属針およびその製法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西藤 征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-061283
公開番号（公開出願番号）：特開平5-223847
出願日： 1992年02月14日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：
【要約】【目的】 テストプローブ装置の金属探針として問題なく使用することができ、しかもピッチのファイン化を実現することができる。【構成】 略円錐状の金属体表面を被覆物質で被覆した後、上記被覆物質の所定部分を除去して所定部分の金属体を露出させる。ついで、上記金属体の露出部分を侵食してくびれ状に形成して金属針5を作製する。
請求項（抜粋）：
先端外周部に凸部が設けられていることを特徴とする金属針。
IPC (2件)：
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