特許
J-GLOBAL ID：200903032029321609
表面欠陥検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-186799
公開番号（公開出願番号）：特開平8-029145
出願日： 1994年07月16日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：
【要約】【目的】 表面欠陥の検査を、短時間で効率的に且つ高精度で行い、欠陥の種類の判別も行なうことが可能な表面検査法を提供する。【構成】 走査ステップで、ポリゴンスキャナ2によってレーザ光が被検物6上で走査され、受光量検出ステップで、レーザ光の被検物6からの反射光が受光器9、10に受光されて受光電気信号が得られ、該受光電気信号に基づいて、検出記憶ステップで、被検物6の通常欠陥部が検出され、検出記憶ステップで、検出された通常欠陥部の大きさと位置が、主走査方向欠陥サイズメモリ28、主走査方向欠陥位置メモリ25、副走査方向欠陥位置メモリ26に記憶され、撮像ステップで検出記憶された通常欠陥部の撮像が行なわれる。
請求項（抜粋）：
偏光器によってレーザ光を被検物上で走査する走査ステップと、前記レーザ光の前記被検物からの反射光もしくは透過光を受光し、受光電気信号を得る受光量検出ステップと、該受光量検出ステップで得られる受光電気信号に基づいて、前記被検物の通常欠陥部を検出し、検出された通常欠陥部の大きさと位置を記憶する検出記憶ステップと、該検出記憶ステップで検出記憶された通常欠陥部の撮像を行なう撮像ステップとを有することを特徴とする表面欠陥検査方法。
IPC (3件)：
G01B 11/30
, G01N 21/89
, G06T 7/00
