特許
J-GLOBAL ID：200903032031376526
熱処理装置およびその熱処理物
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-031245
公開番号（公開出願番号）：特開平6-221764
出願日： 1993年01月27日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：
【要約】【目的】AlNセラミックスの焼成において、同時に脱脂を行なうことができる熱処理装置を得る。【構成】発熱体もしくは断熱材がカーボンからなる熱処理装置において、発熱体および断熱材の内側に、炉内に固定されるとともに、少なくとも内面がカーボン以外の材質(AlN、BN、Si3 N4 、W、Moなど)からなるマッフルを具備することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
発熱体もしくは断熱材がカーボンからなる熱処理装置において、発熱体および断熱材の内側に、炉内に固定されるとともに、少なくとも内面がカーボン以外の材質からなるマッフルを具備することを特徴とする熱処理装置。
IPC (2件)：
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