特許

J-GLOBAL ID：200903032034075586

カラー近接場光学顕微鏡

発明者： 木口 雅史 ,  加藤 美登里
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-112295
公開番号（公開出願番号）：特開平9-297099
出願日： 1996年05月07日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：

【要約】【課題】被測定試料の色彩を観察できるカラー近接場光学顕微鏡を実現する。【解決手段】近接場光学顕微鏡の照明光源に白色光を用い,3原色の光強度を各々測定して,カラー画像化する。具体的には、プローブ6の先端を試料に数十ナノメートルの距離まで接近させて試料15を照明する。試料による反射光を色消しレンズ7で平行光とし、ダイクロイックミラー8用いて色分離し、ミラー17とレンズ9で3つの光電子増倍管10に各々導く。コントローラ11を用いてプリズム表面とプローブ先端の距離を変えずにx-y面で2次元掃引して光電子増倍管の出力をRGB信号として取り込み,画像コントローラ12ヲ用いてカラー画像化し,モニター18で表示する。【効果】被測定試料の色彩を観察することができるため,物の判別が直感的に行えるようになる。また,色の違いを利用した異物の識別を迅速に行うことができる。

請求項（抜粋）：

近接場顕微鏡において,白色光,あるいは,それに準ずるスペクトル幅の広い光を用いて試料照明を行い,試料を透過あるいは試料から反射した光を3原色に分離して強度を測定し,カラー画像を得ることを特徴とするカラー近接場光学顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 21/27 ,  G01N 37/00 ,  G02B 21/06

FI (3件)：

G01N 21/27 E ,  G01N 37/00 D ,  G02B 21/06